微米級線寬的紫外曝光，需要使用涂膠機、烘膠臺、光刻機和顯微鏡等設(shè)備進行配套工藝操作。講座將概述在整個工藝流程中常見的工藝問題和現(xiàn)象，為在工藝實驗前規(guī)避這些問題，提高實驗效率縮短實驗時間，提供一些方法、技巧、啟示。