學(xué)術(shù)講座
接觸式曝光機的紫外曝光工藝及應(yīng)用
演講人:王堯 博士
時間:2023年10月26日 16:15
地點:檢測中心樓M101會議室
微米級線寬的紫外曝光,需要使用涂膠機、烘膠臺、光刻機和顯微鏡等設(shè)備進行配套工藝操作。講座將概述在整個工藝流程中常見的工藝問題和現(xiàn)象,為在工藝實驗前規(guī)避這些問題,提高實驗效率縮短實驗時間,提供一些方法、技巧、啟示。
演講人:王堯 博士
時間:2023年10月26日 16:15
地點:檢測中心樓M101會議室
微米級線寬的紫外曝光,需要使用涂膠機、烘膠臺、光刻機和顯微鏡等設(shè)備進行配套工藝操作。講座將概述在整個工藝流程中常見的工藝問題和現(xiàn)象,為在工藝實驗前規(guī)避這些問題,提高實驗效率縮短實驗時間,提供一些方法、技巧、啟示。