學(xué)術(shù)講座

微納加工中的薄膜表征及測量設(shè)備簡介

演講人：馬續(xù)航

時間：2023年10月12日 16:15

地點：檢測中心樓M101會議室

內(nèi)容：主要介紹微納加工中常見的薄膜厚度的各種表征方式及測量，以及薄膜光學(xué)特性、力學(xué)特性的測量及表征介紹。

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